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単結晶シリコン用エッチング剤(太陽電池用)単結晶シリコン用エッチング剤(太陽電池用)

シリコン基板の表面を少し溶かして(エッチング)微細な凹凸(テクスチャー)をつけ、これにより太陽光の吸収(光閉じ込め効果)を増やすための薬剤です。このテクスチャー技術は太陽電池にとってはキーテクノロジーの一つで、発電効率向上に極めて重要な役割を果たしております。単結晶シリコン用にはアルカリベースのエッチング剤の開発を行っております。

メタブライツ SE シリーズの特長

  1. 1高い光閉じ込め効果

    メタブライツ SE シリーズは、紫外・可視光・赤外部(400~900 nm)の波長領域において反射を抑制することで高い光閉じ込め効果を発揮し、太陽電池の発生電流の増加に有効です。SE シリーズは従来品に比べて上記波長領域の積分値で約2%の有意差を発現します。

  2. 2良好な連続使用性(2万枚の処理が可能/浴槽:15L)

    メタブライツ SE シリーズは従来品に比べて3倍~5倍以上の優れた連続使用性を示します。
    溶出するケイ酸イオンに対して優れた耐久性を有しています。
    シリコンウェハやハウジングから溶出する金属イオンに対しても優れた安定性を有しています。廃水処理量も少なくて済みます。

    • 初期
    • 360 Bat目

    ※条件:1 Bat 57 枚/15 L
    毎Bat 薬液補給を実施

  3. 3短時間でテクスチャー形成が可能

    メタブライツ SE シリーズは短時間に均一なテクスチャーの形成が可能です。
    従来品に比べテクスチャー形成が速く、ウェハ全面に均一に形成されます。スループットの向上に貢献します。

    ※波長600nmの時の反射率

  4. 4ウェハ汚染度に対する高い許容性

    メタブライツ SE シリーズは、シリコンウェハ表面やハウジングから混入する金属イオンに対して優れた安定性を有しています。
    従来品ではテクスチャー形成異常を引き起こした銅イオンや鉛イオンにも耐性が高く、その影響を受けにくい特長があります。

    • 従来品
    • SE シリーズ

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