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シリコンウェハ(太陽電池用)洗浄剤シリコンウェハ(太陽電池用)洗浄剤

太陽電池に使われるシリコンウェハのスライシング後洗浄剤を開発・販売しております。

  • スライシング直後の重厚な汚れを落とす粗洗浄剤
  • 清浄性をより高めるための仕上げ洗浄剤の開発・販売しております。

現場毎の異なるニーズに応じた商品設計を行っており、お客様に最適な洗浄剤をご提案いたします。

メタブライツ SS シリーズの特長

  1. 1設計指針

    ウェハ上の残留物を解析し、これを的確に落とす洗浄剤設計を行います。
    現行洗浄工程の改善点を見出し、洗浄設計(組成・工程条件)に盛り込みます。

  2. 2残留金属例(量産合格ウェハのSEM観察)

    検査終了後の合格ウェハでも、残留物が検出されます。
    残留物は、ワークプレート・ワイヤー・クーラント再生工程からの混入と推定されます。
    CuやAlは中間準位をつくり発電効率に影響を与えるため、洗浄工程で徹底的に除去することが必要です。

    • アルミニウム(Al)
    • 銅(Cu)
  3. 3残留有機物・砥粒例(量産合格ウェハのSEM観察)

    • クーラント中の油性成分がウェハ表面に残ることがあります。
      洗浄剤の乳化力が不足しているか、液中の金属イオンが多いため、油性成分が水不溶性になり表面に再吸着し残留したものと推定されます。
    • 遊離砥粒方式のワイヤーソーで切断されたウェハでは、砥粒に用いているSiC粒子の残留が頻度高く観察されます。
      残留砥粒周辺のクラック部には汚染が溜まりやすく、汚染の貯蔵庫となります。
    • 残留有機物
    • 砥粒
  4. 4残留有機物の低減

    GC-MS*による有機物量の確認(*Gas Chromatography Mass Spectrometry)
    一枚当たりの残留量はわずかであっても量産工程では何万枚ものウェハがテクスチャー槽に持ち込まれます。有機物の中にはわずか10ppmの添加でテクスチャー形成に影響を与える物質があります。有機物は洗浄工程で徹底的に除去する必要があります。

    ウェハを不活性ガス気流にて400°Cに加熱し、ウェハ表面(片面のみ)より熱離脱した有機物を固体吸着剤に捕集濃縮後、GC-MS にて測定(残留量はヘキサデカン換算値)

  5. 5量産現場の徹底把握

    お客様の信頼を得て、量産工程を把握することで、トラブル発生時の迅速対応につなげます。

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